本真空计属皮拉尼真空计，可测量的压力范围从大气压至5×10-2Pa。本真空计从控制面板上去除了操作及显示部分，只保留了必要的功能，从而降低了价格，使外形更小巧，而且已通过CE认证。
用途
可用于半导体、电子原件为首的各种制造装置的低真空领域的过程管理；
可用于真空炉为首的各种产业机器的低真空领域的过程管理；
可用于连续性、多样性工作室的各种制造设备的低真空领域的过程管理。
特长
可测量范围广：从大气压至5×10-2Pa
传感器与控制部一体化：节省空间、降低能耗
名称 | 皮拉尼真空计 | |||
机型名称 | 标准型 | 串行通信型 | ||
Model名 | SW1-N1 | SW1-N2 | ||
可连接规管 | 1个 | |||
适用规管 | SWP-16-N | |||
可测量压力范围 | 5.0×10-2～1.0×10+5Pa | |||
测量精度※1（N2） | 1×10-1Pa～1×10+4Pa | : ±10% | ||
| 1×10+4Pa～1×10+5Pa、5×10-2Pa～1×10-1Pa | : ±20% | ||
反复性 | 1×10-1Pa～1×10+4Pa | : ± 2% | ||
采样时间 | 50ms 5次的移动平均处理 | |||
测量值的输出 | 输出电压 DC 0～10V 压力显示 1.7V～8.0V LOG输出 1V/位 | |||
| 更新时间 | 50ms | ||
分辨率 | 4mV | |||
输出电阻 | 10Ω | |||
输出电阻 | 10Ω |
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串行通信 |
| RS-485/RS-232C | ||
| 通信速度 | 9600/19200/38400bps | ||
记忆功能 | 通过EEPROM备份 | |||
LED显示 | POWER／ERROR： 电源、出错LED | |||
| SET-1： 设定点1 LED |
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| SET-2： 设定点?2 LED | |||
IP保护等级 | IP30 | |||
主体重量 | 控制器：约 105g 规管(SWP-16)：约 45g | |||
外形尺寸 | 70×46×28 （控制器） | |||