日本ULVAC CFB-3600（LF）涡轮分子泵 一、产品简介
CFB-3600涡轮分子泵的叶轮采用变截面叶齿，增强了叶片强度、减轻了转子重量，缩短了启动时间，降低了机械损耗，增加了使用寿命。
日本ULVAC CFB-3600（LF）涡轮分子泵 二、压缩比曲线和抽数曲图
日本ULVAC CFB-3600（LF）涡轮分子泵 三、主要性能指标
型号 | CFB-3600 | |
进气口法兰 | — |
|
排气口法兰 | — | LF100 |
抽气速率 | L/s | 3600 |
压缩比N2/H2 | — | 1×108/5×102 |
极限压强 | Pa | 2×10-6 |
电机转速 | rpm | 12600 |
启动时间 | min | ＜10 |
停机时间 | min | ＜20 |
振动值 | μm | ≤0.15 |
前极泵 | L/s | 30-70 |
冷却水温度 | ℃ | ≤25 |
泵体烘烤温度 | ℃ | <120 |
冷却水流量 | L/min | 1 |
安装方向 | — | 垂直±5° |
重量 | kg | ～100 |
四、安装尺寸图