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日本ULVAC CFB-1200F风冷复合分子泵技术资料

发布时间:2023/2/231

一、产品简介

        CFB-F系列风冷复合分子泵的性能与复合分子泵一样,适用于没有水源且环境温度不高的地方,或经常移动的排气机组等。

 

二、产品特点

        复合分子泵对被抽气体无选择性、无记忆效应;由于对分子量大的气体有很高的压缩比,因此该泵不需要冷阱和捕油挡板即可获得清洁的高真空和超高真空。

 

三、主要性能指标

 

型号

CFB-1200F

订货号

3165

3166

进气口法兰

LF200

CF200

排气口法兰

KF40

抽气速率

L/s

1200

压缩比N2/H2

1×109/1×104

极限压强

Pa

5×10-7

8×10-8   

电机转速

rpm

24000

启动时间

min

<5

振动值

μm

≤0.1

前极泵

L/s

8-15

冷却方式

(环境温度<37℃)

泵体烘烤温度

<120

加热器功率

W

<600

加热器输入电压

V

AC220

安装方向

垂直±5°

重量

kg

~35

 


四、特性曲线及安装尺寸

 

CFB系列风冷复合分子泵安装尺寸表

 

型号规格

CFB-1200F

高真空法兰

LF200

CF200

D1

Ф240

Ф253

D2

Ф267

Ф267

D3

□167.6

□167.6

L1

142

142

L2

152

152

H1

467

467

H2

70

70

H3

178.5

178.5

H4

151

151

泵腿螺钉孔

4-M8

4-M8

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